公告显示，经过完整辅导周期规范整改，华卓精科已搭建符合上市标准的公司治理架构，完善会计核算体系与内部控制管理制度；公司董事、高管、持股 5% 以上股东及实控人全部系统学习资本市场发行上市法规，清晰掌握信息披露义务、上市承诺履约相关责任要求。
对于公司后续上市流程，今日（6 月 17 日），保荐机构业务人士向《科创板日报》记者表示，辅导机构向北京证监局提交全套验收材料后，监管部门法定 20 个工作日内出具《辅导工作完成函》，文件有效期 12 个月，企业需在有效期内递交科创板申报材料。无历史瑕疵的普通科创企业材料筹备周期约 1 至 1.5 个月；而华卓精科属于二次申报硬科技企业，叠加历史问询遗留问题等多重审核关注点，常规需要 2 至 3 个月。
针对公司是否重启科创板申报、有无明确上市时间规划，《科创板日报》记者致电华卓精科上市辅导机构招商证券求证。其相关负责人回应称，对于华卓精科所有上市相关安排均以企业官方对外披露公告为准，现阶段各项筹备工作正急推进，暂无更多细节可以对外披露。《科创板日报》记者随后致电华卓精科证券部核实相关事宜，截至发稿，未获得公司相关回应。
证监会辅导备案公示信息显示，华卓精科于 2026 年 2 月 12 日在北京证监局完成 IPO 辅导备案登记，目标登陆科创板。
《科创板日报》记者注意到，本次重启辅导期间，华卓精科完成全套中介机构更换，辅导券商由此前东兴证券替换为招商证券，申报会计师事务所同步更换，法律顾问机构更新为北京市邦盛律师事务所，全流程完成企业合规性、独立性专项辅导培训等。
需要注意的是，这并非华卓精科首次冲击科创板资本市场。公开辅导资料显示，华卓精科早在 2020 年 6 月递交科创板 IPO 申报并获上交所受理，2021 年 9 月顺利通过上市委审议；后续受行业市场环境、企业中长期资本规划调整影响，公司于 2024 年 6 月主动撤回全部 IPO 申报材料，终止本次上市进程；华卓精科于今年 2 月 13 日提交辅导备案，计划申报科创板 IPO，辅导工作历时四个月。
核心业务包括光刻机核心部件、先进封装设备等
公开资料显示，华卓精科成立于 2012 年 5 月，核心技术锚定超精密测控赛道，主营超精密测控设备零部件、高端整机及配套技术服务，是国内极少数具备光刻机核心零部件自主量产供货能力的企业。
零部件板块，公司产品覆盖精密运动系统、静电卡盘、精密隔振器；整机产品线包含晶圆熔融键合设备、激光退火设备、D2W 芯粒混合键合设备，产品应用于集成电路制造、超精密加工多个领域。
其中静电卡盘为真空工艺核心耗材，依靠静电原理超薄晶圆均匀吸附夹持，是 PVD、刻蚀、离子注入等半导体高端设备不可或缺的核心零部件。
产品进展方面，2026 年 6 月 10 日，公司自主研发 W2W 晶圆熔融键合装备完成客户交付；这也是继 2026 年 2 月 D2W 芯粒混合键合设备落地武汉客户后，公司在 Chiplet 先进封装赛道取得的又一产业突破。此外，目前该公司多款集成电路工艺专用静电卡盘实现国产化批量交付，相关领域累计取得授权专利 30 余项。
2025 年，中国半导体设备国产化率预计攀升至 35%，北方华创、中微公司等企业表现亮眼。然而，将设备拆解至零部件层面，平均国产化率仅为 7.1%。在这悬殊的落差背后，是半导体设备用先进陶瓷零部件，如静电卡盘等高度依赖进口。
行业竞争情况来看，国内静电卡盘行业形成国际巨头垄断、本土厂商加速突围的分层竞争格局，市场划分为三大梯队。第一梯队为美日头部企业如，应用材料、泛林、细美士等，占据行业主导份额；第二梯队是已经上市企业富创精密、珂玛科技以及非上市企业华卓精科等本土公司，依托产业政策优势等持续研发，已完成中低端产品进口替代，部分企业实现高端技术突破；第三梯队为君原电子、安弧科技等大量中小厂商，整体体量与技术实力偏弱。
随着静电卡盘行业本土化替代进程持续提速，国内有不少企业纷纷布局研发、测试，切入静电卡盘赛道，市场竞争进一步加剧。
对于静电卡盘市场供给，今年 5 月 21 日，在珂玛科技 2025 年业绩说明会上，该公司董事长兼总经理刘先兵介绍，截至 2025 年静电卡盘产品已有数百万元金额的交货，公司二期扩建正是以静电卡盘为核心，预计今年订单可达千万元级别。
实控人为清华大学教授 手握多家半导体企业股权
股权融资方面，自 2012 年首轮战略融资起，至 2015 年最后一次股权融资，华卓精科累计融资三轮，投资方包括北京水木长风股权投资、中海投资、水木创投等。
前次申报的招股书显示，朱煜为公司董事、核心技术人员、首席科学家，1965 年 1 月出生，2001 年毕业于中国矿业大学，博士学历，机械设计及理论专业。1983 年至 2004 年，朱煜任教于中国矿业大学，先后任讲师、副教授；2001 年至 2004 年，其于清华大学从事博士后工作；2004 年 10 月至今，其任清华大学精仪系制造所 / 机械系机电所长聘教授，博导，主攻超精密机械、集成电路装备测控研究，主导研制国内首台光刻机双工件台系统样机。
2007 年至 2013 年，朱煜任北京七星华创电子股份有限公司独立董事；2016 年至 2019 年，其任北方华创科技集团股份有限公司独立董事；2012 年至 2015 年，其任华卓有限董事长兼总经理；2015 年至 2015 年，其任华卓精科董事长；2015 年 9 月至今，其任华卓精科董事、首席科学家。
产业层面，天眼查信息显示，目前朱煜名下存续关联企业有 6 家，包含北京华卓精科、华海清科、江苏越阳商业运营管理有限公司等。
